При условии, здесь, представляет собой способ ХОП и устройство для осаждения вольфрама, в котором формирование вольфрамовой пленочного материала подавлена на периферийном краю полупроводниковой подложки. В соответствии с настоящим изобретением, галогенида продувочный газ подают к периферийной кромке обработки поверхности полупроводниковой пластины в процессе химического осаждения из газовой фазы вольфрама. Галогенид продувочных газов взаимодействуют с обработкой газов и образуют пленки из сплава вольфрама пассивирования на периферийном краю полупроводниковой пластины, которая подавляет или предотвращает образование вольфрамового сплава пленки вольфрама материала на поверхности кромки. Следовательно, CMP может быть применен к вольфрамового сплава пленки полупроводниковой пластины, и частицы материала пленки сплава вольфрама и т.д., не генерируются от интенсивной полировки периферийной кромки пластины. Таким образом, незагрязненной вольфрамовым покрытием полупроводниковую пластину с точной многослойной структуры электрода проводки могут быть изготовлены в большом объеме и благоприятных урожайности.
При производстве хромового T64 Fuji подходит к остановке, многие люди беспокоятся о будущем вольфрамового сплава пленки. Ну, не волнуйтесь, потому что Logography теперь имеет вольфрамовую пленку! Подробнее после перерыва.
Вольфрам сплава пленка была долгое время любимой для ночной съемки, как низкий ISO делает его хорошим для длительных экспозиций. Он также балансирует на желтый / оранжевый цвет, который мы обычно получаем от уличных фонарей и в целом дает более холодный тон.
Несколько месяцев назад, Fujifilm сделал несколько заявлений относительно будущего их линии пленки. В апреле прошлого года они прекратили производство дублирующего пленки, Fuji хром CDU II и в июле, они прекратили хром T64 сплава вольфрама пленку Fuji. Причиной решения стало, что продажи для тиражирования фильмов снижались на протяжении многих лет и продажи вольфрамового сплава пленки T64 высадили, а также. Они решили сосредоточиться на более популярной линии в диапазоне про кино и продолжают продавать прекращенной фильмы в то время как поставки длятся.
Подавление вольфрамового сплава осаждения пленки на скоса кромки полупроводниковых пластин с галогенированным продувочного газа.
Если у вас есть какие-либо интерес к вольфрамовой пленкой, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами по электронной почте: sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com или по телефону: 86 592 5129696.